26/30551904 DC PDF
BS EN IEC 62047-61 Semiconductor devices - Micro-electromechanical systems - Part 61: Evaluation methods of localized deformation and stretchability for Hybrid MEMS materials
Название (английский):
26/30551904 DC
BS EN IEC 62047-61 Semiconductor devices - Micro-electromechanical systems - Part 61: Evaluation methods of localized deformation and stretchability for Hybrid MEMS materials
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 3 июля 2026 г.
- ICS:
- 31.080.01
- SKU:
- 26/30551904 DC