ASTM STP36179S PDF
Effects of Oxygen Precipitation on Minority Carrier Lifetime in Silicon Crystals
Название (английский):
ASTM STP36179S
Effects of Oxygen Precipitation on Minority Carrier Lifetime in Silicon Crystals
- Статус документа:
- D
- Формат:
- Электронный (PDF)
- SKU:
- ASTM STP36179S
Цена по запросу
Свяжитесь с нами для уточнения стоимости.
Abstract
Infrared (IR) absorption measurements of the interstitial oxygen concentration [O] for two-step annealed wafers, with reverse recovery time Trr and capacitance relaxation time Ts measurements on processed devices, have been used to investig...
Похожие стандарты
Другие стандарты ASTM