BS IEC 62047-42:2022 PDF
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
Название (английский):
BS IEC 62047-42:2022
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 24 октября 2022 г.
- ICS:
- 31.080.99
- SKU:
- BS IEC 62047-42:2022