BS ISO 19383:2026 PDF
Atomic layer deposition. Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Название (английский):
BS ISO 19383:2026
Atomic layer deposition. Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 30 июня 2026 г.
- ICS:
- 25.220.01
- SKU:
- BS ISO 19383:2026
Тип поставки:
Язык документа:
Срок поставки:1 раб. дн. (перевод)
Цена:50 €
Abstract
1 Scope This document defines the chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity and anion content specification.
Похожие стандарты
Другие стандарты BS