BS EN ISO 25178-603:2013
Geometrical product specifications (GPS). Surface texture: Areal - Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
Geometrical product specifications (GPS). Surface texture: Areal - Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
- Статус документа:
- Отменён
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 31 октября 2013 г.
- ICS:
- 17.040.20
- Технический комитет:
- CEN
- SKU:
- BS EN ISO 25178-603:2013
Abstract
1 Scope This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric ( PSI ) profile and areal surface texture measuring microscopes.
Похожие стандарты
Упомянутые в описании и другие стандарты BS