ISO 16700:2016
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
Название (английский):
ISO 16700:2016
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Количество страниц:
- 18
- Дата публикации:
- 18 июля 2016 г.
- Издание:
- ISO IS 16700 edition 2 version 1
- ICS:
- 37.020
Тип поставки:
Язык документа:
Срок поставки:1 рабочий день
Цена:25 €
Описание (английский):
ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.
Abstract
Overview
Похожие стандарты
Упомянутые в описании и другие стандарты ISO