ISO 20146:2019
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
Название (английский):
ISO 20146:2019
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Количество страниц:
- 16
- Дата публикации:
- 31 января 2019 г.
- Издание:
- ISO IS 20146 edition 1 version 1
- ICS:
- 23.160
Тип поставки:
Язык документа:
Срок поставки:1 рабочий день
Цена:25 €
Описание (английский):
This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges. This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when calibrating CDGs and using them as reference standards.
Abstract
Похожие стандарты
Стандарты, упомянутые в описании