ASTM F1388-92(2000)
Standard Test Method for Generation Lifetime and Generation Velocity of Silicon Material by Capacitance-Time Measurements of Metal-Oxide-Silicon (MOS) Capacitors (Withdrawn 2003)
Название (английский):
ASTM F1388-92(2000)
Standard Test Method for Generation Lifetime and Generation Velocity of Silicon Material by Capacitance-Time Measurements of Metal-Oxide-Silicon (MOS) Capacitors (Withdrawn 2003)
- Статус документа:
- Отменён
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Дата публикации:
- 16 августа 2017 г.
- SKU:
- ASTM F1388-92(2000)
Тип поставки:
Язык документа:
Срок поставки:1 рабочий день
Цена:1 800 ₽
Abstract
ScopeThis standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers the measurement of generation lifetime and generation velocity of silicon wafers.1.2 The measurement requires the fabrication of a guard-ring MOS ...
Похожие стандарты
Другие стандарты ASTM