SIST EN ISO 23131:2023 PDF
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
- Статус документа:
- Действующий
- Формат:
- Электронный (PDF)
- Количество страниц:
- 23
- Дата публикации:
- 25 ноября 2022 г.
- Издание:
- ISO 23131:2021
- ICS:
- 17.020
This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories. It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.
Abstract
Overview
Похожие стандарты
Упомянутые в описании и другие стандарты SIST